Aktualności

Łódź kwarcowa jest kluczowym elementem obciążenia stosowanym w procesie produkcji półprzewodników. Jest stosowany głównie do przetwarzania płytek o wysokiej temperaturze, takich jak dyfuzja, utlenianie i wyżarzanie. Jego doskonała stabilność termiczna, niskie charakterystyka zanieczyszczenia i odporność na korozję sprawiają, że jest to niezbędny materiał w przemyśle półprzewodnikowym. Ten artykuł opracuje materiał, właściwości fizyczne, klasyfikację, scenariusze aplikacji łodzi kwarcowej i jej różnice od łodzi grafitowej PECVD.

Podstawowym materiałem łodzi grafitowej PECVD jest izotropowy materiał grafitowy o wysokiej czystości (czystość wynosi zwykle ≥99,999%), który ma doskonałą przewodność elektryczną, przewodność cieplną i gęstość. W porównaniu ze zwykłymi łodziami grafitowymi łodzie grafitowe PECVD mają wiele zalet właściwości fizycznych i chemicznych i są stosowane głównie w przemyśle półprzewodnikowym i fotowoltaicznym, szczególnie w procesach PECVD i CVD.

Tace grafitowe MOCVD odgrywają ważną rolę w procesie epitaksjalnym. W tym artykule szczegółowa analiza wyboru tace grafitowej MOCVD z perspektywy właściwości materialnych i scenariuszy aplikacji.