Aktualności

Nanomateriały węgla krzemu (SIC) to materiały o co najmniej jednym wymiarze w skali nanometru (1-100 nm). Materiały te mogą być zero-, jedno-, dwu- lub trójwymiarowe i mieć różnorodne zastosowania.

CVD SIC jest materiałem węgla krzemowego o dużej czystości wytwarzanym przez chemiczne osadzanie pary. Służy głównie do różnych komponentów i powłok w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników. Poniższa treść jest wprowadzeniem do klasyfikacji produktu i podstawowych funkcji CVD SIC

W tym artykule przedstawiono głównie typy produktów, charakterystykę produktu i główne funkcje powłoki TAC w przetwarzaniu półprzewodnikowym oraz zawiera kompleksową analizę i interpretację produktów powlekania TAC jako całości.

W tym artykule przedstawiono głównie typy produktów, charakterystykę produktu i główne funkcje podatnika MOCVD w przetwarzaniu półprzewodników oraz zawiera kompleksową analizę i interpretację produktów podatnych MOCVD jako całości.

Susceptor grafitowy pokryty SiC dla ASM to nie tylko część zamienna wewnątrz systemu epitaksji. Jest to nośnik krytyczny dla procesu, który wpływa na równomierność termiczną, czystość płytek, trwałość powłoki, stabilność komory i długoterminowe koszty produkcji.

Powłoka CVD TaC to nie tylko pokrywa ochronna lub element powlekany grafitem. W wysokotemperaturowych procesach półprzewodników może wpływać na czystość komory, stabilność termiczną, żywotność części i spójność procesu.