Pierścień ostrości do trawienia

Monokrystaliczne pierścienie krzemowe są niezbędnymi składnikami w procesach trawienia półprzewodnikowego poprzez utrzymanie stabilności środowiska plazmowego, ochronę sprzętu i płytek, optymalizując wykorzystanie zasobów i dostosowywanie do zaawansowanych wymagań procesowych. Jego wydajność bezpośrednio wpływa na wydajność i koszt produkcji układów.

Trawiony pierścień ogniskowy, elektroda i ETC (kontroler temperatury krawędzi) są podstawowymi materiałami eksploatacyjnymi w celu zapewnienia jednorodności plazmy, kontroli temperatury i powtarzalności procesu. Komponenty te są precyzyjnie zmontowane w komorze próżniowej CVD, sprzętu trawienia i filmowego oraz bezpośrednio określają dokładność i wydajność trawienia od krawędzi do środka wafla.

W odpowiedzi na rygorystyczne zapotrzebowanie na właściwości materiału w wysokiej klasy procesach produkcyjnych, Vetesemi wprowadza innowacje, stosując monokrystaliczny krzem o wysokiej czystości z rezystywnością 10-20 Ω · cm w celu produkcji pierścieni ogniskowania i obsługi materiałów eksploatacyjnych. Dzięki optymalizacji optymalizacji materiałów, projektowania elektrycznego i termodynamiki, Veteksemi jest w stanie produkować pierścienie ostrości i obsługujące materiały eksploatacyjne. Kompleksowo przewyższają tradycyjne rozwiązania kwarcowe, aby osiągnąć przełomową poprawę długowieczności, dokładności i opłacalności.

Porównanie materiałów podstawowych i optymalizacja rezystywności

Monokrystaliczny krzem vs. Kwarc

Produkt Core Advantage

1. Dokładność procesu poziomu atomowego

Optymalizacja oporności + polerowanie ultra-precyzyjne (RA <0,1 μm) eliminuje mikro-rozładowywanie i zanieczyszczenie cząstek w celu spełnienia standardów półprzewodnikowych.

Strata dielektryczna (tanΔ <0,001) jest wysoce dopasowana do środowiska dielektrycznego płytki, unikając zniekształceń pola elektrycznego krawędzi i obsługującej 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° pionowe trawienie głębokiego otworu.

2. Inteligentna kompatybilność systemu

Zintegrowany z modułem kontroli temperatury krawędzi ETC, przepływ powietrza chłodzącego jest dynamicznie dostosowywany za pomocą termopary i algorytmu AI w celu zrekompensowania dryfu termicznego komory.

Obsługuj dostosowaną sieć dopasowania RF, odpowiedni dla maszyn głównego nurtu, takich jak AMAT Centura, LAM Research Kiyo i ICP/CCP Plazma.

3. Kompleksowa opłacalność

Życie monokrystalicznego krzemu jest o 275% dłużej niż kwarc, cykl konserwacji wynosi ponad 3000 godzin, a kompleksowy koszt własności (TCO) jest zmniejszony o 30%.

Usługa dostosowywania gradientu rezystywności (5-100 ω · cm), precyzyjnie dopasowując okno procesu klienta (takie jak trawienie materiału GAN/SIC Szerokie pasmowe).

Wpływ rezystywności

Warunki komercyjne produktu

Minimalna ilość zamówienia	1 zestaw
Cena	Kontakt w celu dostosowania cytatu
Szczegóły opakowania	Standardowy pakiet eksportu
Czas dostawy	Czas dostawy: 30-35 dni po potwierdzeniu zamówienia
Warunki płatności	T/t
Umiejętność dostaw	600 zestawów/miesiąc