Głowica prysznicowa z grafitu pokryta węglikiem krzemu (SiC) metodą CVD

Kluczowe funkcje

• Bardzo wysoka czystość – powłoka SiC całkowicie uszczelnia grafit, zapobiegając odgazowaniu i zanieczyszczeniu metalem.

• Doskonała dystrybucja gazu – każda głowica prysznicowa jest obrabiana maszynowo w celu zapewnienia stałej prędkości gazu w całej płytce.

• Doskonała odporność na korozję – CVD SiC nie reaguje z halogenami ani pozostałościami procesowymi. Wytrzymuje znacznie dłużej niż goły grafit lub kwarc.

• Wyjątkowa wydajność cieplna – Powłoka ściśle dopasowuje się do rozszerzalności cieplnej grafitu, więc nie pęka podczas gwałtownych wzrostów temperatury.

• Precyzyjna produkcja – Stosujemy obróbkę CNC i własne powlekanie CVD. Średnice i wzory otworów są utrzymywane w wąskich tolerancjach.

Dane techniczne

Aplikacje

Te głowice prysznicowe są używane w:

• Półprzewodnikowe systemy CVD (zarówno produkcyjne, jak i badawczo-rozwojowe)

• Sprzęt PECVD – dielektryki niskotemperaturowe

• Reaktory MOCVD – związki III-V jak GaN, InP

• Epitaksja krzemowa (Si Epi) – dla urządzeń zasilających i CMOS

• Epitaksja SiC – elektronika mocy wysokiego napięcia

• Fabryki półprzewodników złożonych

• Zaawansowane pakowanie (np. osadzanie wykładziny TSV)

• Każde narzędzie cienkowarstwowe, które wymaga odpornego na korozję dystrybutora gazu o wysokiej czystości

Dlaczego warto wybrać firmę VETEK?

• Nie jesteśmy firmą handlową. Wszystko – od obróbki grafitu po końcowe pokrycie CVD SiC – odbywa się we własnym zakresie. Oznacza to, że kontrolujemy jakość, czas realizacji i koszt.

• Kompletna produkcja wewnętrzna – żadnych niespodzianek związanych z outsourcingiem

• Zaawansowana technologia powlekania – gęsta, pozbawiona otworów powłoka CVD SiC

• Niestandardowe wsparcie inżynieryjne – prześlij nam rysunek głowicy prysznicowej lub po prostu model reaktora

• Niezawodny łańcuch dostaw półprzewodników – od lat zaopatrujemy fabryki i producentów OEM

• Nie musisz za każdym razem ponownie kwalifikować nowego projektu. Powlekaliśmy już głowice prysznicowe do wielu popularnych platform (AMAT, TEL, LAM, ASM itp.).