Produkty
CMP Polerowanie zawiesiny
  • CMP Polerowanie zawiesinyCMP Polerowanie zawiesiny

CMP Polerowanie zawiesiny

CMP zawiesia polerowania (chemiczne zawiesinę mechaniczne) to materiał o wysokiej wydajności stosowany w produkcji półprzewodnikowej i precyzyjnym przetwarzaniu materiału. Jego podstawową funkcją jest osiągnięcie dobrej płaskości i polerowania powierzchni materiału pod synergicznym efektem korozji chemicznej i szlifowania mechanicznego w celu spełnienia wymagań dotyczących płciarstwa i jakości powierzchni na poziomie nano. Czekamy na dalsze konsultacje.

Zawiesina polerowania CMP Vetesemicon jest wykorzystywana głównie jako ścierna ścierna w chemicznym zawiesinie mechanicznym CMP do planaryzacji materiałów półprzewodników. Ma następujące zalety:

Średnica i stopień powiązania cząstek cząstek można swobodnie kontrolować;
Cząstki są monodyspersyjne, a rozkład wielkości cząstek jest jednolity;
System dyspersji jest stabilny;
Masowa skala produkcji jest duża, a różnica między partiami jest niewielka;
Nie jest łatwo się kondensować i osiedlić.


Wskaźniki wydajności dla produktów z serii ultra wysokiej czystości

Parametr
Jednostka
Wskaźniki wydajności dla produktów z serii ultra wysokiej czystości

Biskup
Biskup2
Biskup3
Biskup4
Biskup-5
Biskup6
Biskup7
Średnia wielkość cząstek krzemionki
nm
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Rozkład wielkości nanocząstek (PDI)
1 <0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
Rozwiązanie Ph
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Solidna zawartość
% 20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
Wygląd
--
Jasnoniebieski
Niebieski
Biały
Off-biały
Off-biały
Off-biały
Off-biały
Morfologia cząstek x
X : S-feryczne ; B- zakrzywione ; p-orzechowe ; T- Bulwiaste ; C-łańcuchowe (stan zagregowany)
Stabilizowanie jonów
Aminy organiczne / nieorganiczne
Surowiec Y
I : M-tmos ; e-you ; me-tamos+teos ; em-ezos+tmos
Zawartość zanieczyszczenia metali
≤ 300ppb


CMP Polishing Dlurry Applications :


● Zintegrowane materiały obwodu CMP

● Zintegrowane materiały Poly-Si CMP

● Półprzewodnikowy pojedynczy kryształowy krzem materiały CMP

● Półprzewodniki krzemowe materiały węglika CMP

● Zintegrowane materiały STI CMP

● Zintegrowane metalowe i metalowe materiały warstw bariery CMP


Gorące Tagi: CMP Polerowanie zawiesiny
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept