Łódź grafitowa dla PECVD

Aplikacja: Łódź grafitowa Veteksemicon do PECVD jest głównym elementem procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą. Został zaprojektowany specjalnie do osadzania wysokiej jakości azotku krzemu, tlenku krzemu i innych cienkich warstw na płytkach krzemowych, półprzewodnikach złożonych i podłożach paneli wyświetlaczy. Jego działanie bezpośrednio determinuje jednorodność folii, stabilność procesu i koszt produkcji.

Usługi, które można świadczyć: analiza scenariuszy zastosowań u klientów, dopasowywanie materiałów, rozwiązywanie problemów technicznych.

Profil firmy Veteksemicon posiada 2 laboratoria, zespół ekspertów z 20-letnim doświadczeniem materiałowym, z możliwościami badawczo-rozwojowymi oraz produkcją, testowaniem i weryfikacją.

Ogólne informacje o produkcie

Warunki handlowe dotyczące produktu

Główne obszary zastosowań

Łódź Veteksemicon Graphite zapewniająca podstawowe zalety PECVD

1. Podłoża o wysokiej czystości, kontrolujące zanieczyszczenia u źródła

Nalegamy, aby jako materiał bazowy stosować prasowany izostatycznie grafit o wysokiej czystości o stabilnej czystości ponad 99,995%, aby mieć pewność, że nie będzie on wytrącał zanieczyszczeń metalicznych nawet w ciągłym środowisku pracy o temperaturze 1600°C. Te rygorystyczne wymagania materiałowe mogą bezpośrednio zapobiec pogorszeniu wydajności płytek spowodowanemu zanieczyszczeniem nośnika, zapewniając najbardziej podstawową gwarancję osadzania wysokiej jakości warstw azotku krzemu lub tlenku krzemu.

2. Precyzyjne pole termiczne i konstrukcja konstrukcyjna zapewniające jednolitość procesu

Dzięki obszernej symulacji płynów i danym z pomiarów procesu zoptymalizowaliśmy kąt szczeliny łodzi, głębokość rowka prowadzącego i ścieżkę przepływu gazu. To skrupulatne rozważenie konstrukcyjne umożliwia równomierną dystrybucję gazów reaktywnych pomiędzy płytkami. Rzeczywiste pomiary pokazują, że przy pełnym obciążeniu odchylenie jednorodności grubości folii pomiędzy waflami w tej samej partii można stabilnie kontrolować w zakresie ± 1,5%, co znacznie poprawia wydajność produktu.

3. Indywidualne rozwiązania powłokowe w celu rozwiązania problemu korozji specyficznego procesu

Aby sprostać różnym środowiskom gazów procesowych różnych klientów, oferujemy dwie dojrzałe opcje powlekania: węgiel pirolityczny i węglik krzemu. Jeśli osadzasz głównie azotek krzemu i stosujesz czyszczenie wodorem, gęsta powłoka z węgla pirolitycznego może zapewnić doskonałą odporność na erozję plazmy wodorowej. Jeśli w Twoim procesie stosowane są gazy czyszczące zawierające fluor, lepszym wyborem będzie powłoka z węglika krzemu o wysokiej twardości. Może wydłużyć żywotność łodzi grafitowej w środowiskach silnie korozyjnych ponad trzykrotnie większą niż w przypadku zwykłych produktów niepowlekanych.

4. Doskonała stabilność na szok termiczny, z możliwością dostosowania do częstych cykli temperaturowych

Dzięki naszej unikalnej formule grafitu i konstrukcji wewnętrznych żeber wzmacniających nasze łodzie grafitowe są w stanie wytrzymać powtarzające się szybkie szoki chłodzące i cieplne w procesie PECVD. W rygorystycznych testach laboratoryjnych, po 500 szybkich cyklach termicznych od temperatury pokojowej do 800°C, współczynnik utrzymania wytrzymałości na zginanie łodzi nadal przekraczał 90%, skutecznie zapobiegając pęknięciom spowodowanym naprężeniami termicznymi oraz zapewniając ciągłość i bezpieczeństwo produkcji.

5. Zatwierdzenie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Łódź Veteksemicon Graphite do weryfikacji łańcucha ekologicznego PECVD obejmuje surowce do produkcji, przeszła międzynarodowy standard certyfikacji i posiada szereg opatentowanych technologii zapewniających niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energii.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe księgi lub ustalenia dotyczące przykładowych testów, skontaktuj się z naszym zespołem pomocy technicznej, aby dowiedzieć się, w jaki sposób Veteksemicon może zwiększyć wydajność Twojego procesu.