Wiadomości branżowe

Elektrostatyczne Chuck (ESC), znane również jako elektrostatyczne Chuck (ESC, E-Chuck), jest elementem wykorzystującym zasadę adsorpcji elektrostatycznej do trzymania i ustalania zaadsorbowanego materiału. Jest odpowiedni do środowisk próżniowych i plazmowych.

Przewoźnicy SIC, jako kluczowe materiały eksploatacyjne w łańcuchu półprzewodników trzeciej generacji, ich cechy techniczne bezpośrednio wpływają na wydajność wzrostu epitaxialnego i produkcji urządzeń. Wraz z rosnącym zapotrzebowaniem na urządzenia o wysokim napięciu i wysokiej temperaturze w branżach takich jak stacje bazowe 5G i nowe pojazdy energetyczne, badania i zastosowanie przewoźników opłat SIC są obecnie w obliczu znacznych możliwości rozwoju.

Ceramika tlenku glinu to „konik robocze” do produkcji elementów ceramicznych. Wykazują doskonałe właściwości mechaniczne, bardzo wysokie temperatury topnienia i twardość, oporność na korozję, silną stabilność chemiczną, wysoką oporność i doskonałą izolację elektryczną. Są one powszechnie stosowane do wytwarzania płytek polerniczych, próżniowych chucków, ramion ceramicznych i podobnych części.