Wiadomości branżowe

Sic Ceramika to materiał ceramiczny wytwarzany przez reakcję elementów krzemu (SI) i węgla (C), zawierającego wyjątkowo wysoką twardość, odporność na ciepło i stabilność chemiczną

W świecie wytwarzania półprzewodników o wysokich stawkach precyzja i stabilność są wszystkim-i tam wkracza elektrostatyczne Chuck (ESC). O wiele więcej niż tylko narzędzie do trzymania, ESC wykorzystuje siły elektrostatyczne, aby bezpiecznie zaciskać płytki podczas krytycznych procesów, takich jak trawienie, osadzanie i implantacja jonów. Ale jak to naprawdę działa? Dlaczego jest lepszy od tradycyjnego mechanicznego zacisku? I jaką rolę odgrywa w osiąganiu dokładności nanoskali i wydajności przepustowości? Witamy w przeczytaniu.

Zasada Dechucka elektrostatycznego chucka jest kluczową częścią jego przepływu pracy, który obejmuje eliminację siły elektrostatycznej i mechanizmy uwalniania płytek.