Łódź waflowa kwarcowa o wysokiej czystości

Łódź kwarcowa o wysokiej czystości Veteka Semiconductor jest wykonana z kwarcu o ultra wysokiej czystości, która ma charakterystykę niskiej zawartości hydroksylowej, wysokiej czystości i silnej oporności na wysoką temperaturę. Materiał ten jest również szeroko stosowany w przemyśle półprzewodnikowym jako materiał do pieców dyfuzyjnych i komponentów pieca CVD. Jako pojemnik do przenoszenia waflów krzemowych, wafel łodzi o wysokiej czystości kwarcowej był używany w polach półprzewodnikowych, fotowoltaicznych, chemicznych i innych.

Scenariusze zastosowań

Pierwszą z nich jest pole półprzewodników. Bardzo ważny jest proces obróbki cieplnej płytek, obejmujący utlenianie termiczne, dyfuzję, wyżarzanie itp. Dzięki procesowi obróbki cieplnej nadajemy płytkom nowe właściwości.

Rury rdzeniowe pieca okresowego są stosowane w procesach przetwarzania płytek półprzewodnikowych, takich jak utlenianie termiczne, dyfuzja w wysokiej temperaturze, wyżarzanie i osadzanie cienkowarstwowych. Piec do ogrzewania wsadowego służy głównie do podgrzewania korpusu pieca za pomocą wężownic w celu zakończenia obróbki cieplnej. Według różnych konstrukcji roboczych, rury rdzeniowe pieców wsadowych można podzielić na piece poziome i piece pionowe:

(1) Łódka z wafli kwarcowych o wysokiej czystości w piecu poziomym jest umieszczona poziomo, dlatego nazywa się ją piecem poziomym.

W procesie obróbki cieplnej wafel jest ładowany na łódź o wysokiej czystości kwarcowej, powoli wysyłaną do rurki pieca kwarcowego, a wafel jest umieszczany w strefie stałej temperatury do przetwarzania. Po oczekiwaniu na zakończenie procesu, łódź z kwarcowym używana wafel jest powoli wyciągana z pieca kwarcowego, aby zapobiec uszkodzeniu wafla z powodu nagłych zmian temperatury. Piece poziome są szeroko stosowane w procesie dyfuzyjnym zintegrowanych obwodów o średnicach opłat mniejszych niż 200 mm. 

Zaletami pieców poziomych są prosty proces, dobra jednorodność wafli oraz możliwość jednoczesnej obróbki wielu wafli. Wadami są mała prędkość nagrzewania, duży rozmiar sprzętu, trudność w automatyzacji i łatwy dostęp powietrza zewnętrznego podczas załadunku i rozładunku płytek.

(2) Łódź waflowa o wysokiej czystości pionowego pieca jest umieszczana pionowo, więc nazywa się pionowym piecem.

Wafel jest ładowany na wieżę kwarcową i powoli unosi się do rurki do pieca kwarcowego w celu ogrzewania. Podczas procesu ogrzewania łódź waflowa o wysokiej czystości powoli się obraca, aby upewnić się, że wafel jest równomiernie ogrzewany. Po przetworzeniu wieża kwarcowa powoli schodzi, aby uniknąć zmian temperatury, które mogą powodować uszkodzenie opłat. Pustyczne piece są używane głównie w procesie zintegrowanego obwodu o średnicy 200 mm i 300 mm. Podstawowa technologia pieców pionowych polega na wysokiej precyzyjnej kontroli pola temperatury, kontroli cząstek, kontroli mikro-tlenku mikro-środowiska i motoryzacji. Zalety pionowych pieców to cienka naturalna warstwa tlenku, dobra jednolitość, łatwiejsza automatyzacja, ślad małego sprzętu i przetwarzanie wsadowe. Wadą jest to, że prędkość ogrzewania jest powolna.

W polu fotowoltaicznym proces produkcji komórek fotowoltaicznych wymaga łodzi kwarcowych do przenoszenia i transportu waflów krzemowych w procesie dyfuzji w wysokiej temperaturze. Traktowanie w wysokiej temperaturze w azotu o wysokiej ostrości, tlenu lub innej atmosferze gazu obojętnego, takiej jak dyfuzja fosforu lub dyfuzja boru, jest ważnym krokiem w procesie produkcyjnym ogniw słonecznych. Celem jest utworzenie skrzyżowania PN na waflu krzemu.

Łódź kwarcowa ma wewnątrz precyzyjnie zaprojektowane szczeliny, które zapewniają, że płytka krzemowa utrzymuje dokładną pozycję podczas procesu dyfuzji w wysokiej temperaturze i jest równomiernie nagrzewana. Ponieważ materiał kwarcowy ma dobrą odporność na wysoką temperaturę i stabilność chemiczną, nie zanieczyszcza płytki krzemowej, co sprzyja utrzymaniu wysokiej czystości środowiska produkcyjnego.

Jako innowator i lider na rynku łodzi kwarcowych w Chinach, niezależnie od tego, czy zajmujesz się branżą półprzewodników, czy branży fotowoltaicznej, o ile potrzebujesz łodzi waflowej o wysokiej czystości, poproś nas o wycenę, a my będziemy w stanie dostosować To dla ciebie zgodnie z twoimi potrzebami.

To półprzewodnik Sklepy produktów: