Aixtron G5+ Składnik sufitowy

Azotek galu (GAN) to szeroki materiał półprzewodnikowy z doskonałymi właściwościami fizycznymi, takimi jak mobilność elektronów, wysokie rozkładanie pola elektrycznego i prędkość elektronów o wysokiej nasyceniu. Jest szeroko stosowany w urządzeniach optoelektronicznych (takich jak diody emitujące światło, diody laserowe) i urządzenia elektroniczne o wysokiej częstotliwości (takie jak wzmacniacze mocy). Krzem (SI) jest powszechnie stosowanym materiałem podłoża półprzewodnikowego z zaletami niskiego kosztu, dużej wielkości i kompatybilności z istniejącymi procesami zintegrowanymi na bazie krzemu. Dlatego rosnące warstwy epitaksjalne GAN na SI jest bardzo cennym tematem badawczym. Seria Aixtron G5+ jest obecnie jednym z najgorętszych opartych na SI Epitaksial Equipmeal, który ma wiele ważnych komponentów, a składnik sufitu jest jednym z ważnych elementów.

Komponent sufitowy AIXtron G5+ jest wykonany z grafitu SGL. Główną funkcją jest kontrolowanie temperatury i zapewnienie najniższego przepływu ciepła przez wafel.

 ●Kontrola jednolitości temperatury: 

Komponent sufitowy AIXtron G5+ pomaga osiągnąć jednolity rozkład temperatury w całej komorze reakcyjnej. W procesie wzrostu epitaksjalnego półprzewodnikowego jednolitość temperatury ma kluczowe znaczenie dla uprawy wysokiej jakości warstw epitaksjalnych. Zapewnia, że ​​można uzyskać tę samą temperaturę powierzchni na wszystkich waflach lub składnikach satelitarnych, zapewniając w ten sposób spójność tempa wzrostu i jakości materiału epitaksjalnego we wszystkich lokalizacjach, co poprawia wydajność procesu.

 ● Zoptymalizuj środowisko wzrostu: 

W ramach komory reakcji komponent sufitowy AIXtron G5+ tworzy stabilne środowisko wzrostu wraz z innymi komponentami. Może zmniejszyć utratę ciepła i uczynić temperaturę w komorze reakcyjnej bardziej stabilną, co sprzyja dokładnemu kontrolowaniu warunków wzrostu epitaksjalnego i zmniejszenia wad warstwy epitaksjalnej i nierówności nierówności spowodowanej fluktuacjami temperatury.

Aixtron G5+ Component sufitu jest jednym z głównych produktów w branży wprowadzonej przez Vetek Semiconductor. Wybór półprzewodnika Veteka oznacza współpracę z firmą zaangażowaną w przekraczanie granic innowacji krzemowych węgla. Z silnym naciskiem na jakość, wydajność i zadowolenie klientów dostarczamy produkty, które nie tylko spełniają, ale przekraczają rygorystyczne wymagania branży półprzewodników. Pomóżmy Ci osiągnąć większą wydajność, niezawodność i sukces w twoich operacjach dzięki naszym zaawansowanym rozwiązaniom komponentów sufitowych AIXtron G5+.

Dane materialne z grafitu SGL 6510:

To półprzewodnikAixtron G5+ Component Component Products