Elementy reaktora planetarnego Aixtron G10 na bazie stałego SiC

1. Kluczowe cechy i zalety

• W pełni gęsta, pozbawiona spoiwa struktura z litego SiC zapewniająca doskonałą odporność na zużycie i korozję

• Doskonała przewodność cieplna i odporność na szok termiczny w temperaturach powyżej 1500°C

• Bardzo niskie wytwarzanie cząstek i wysoka czystość, minimalizujące ryzyko zanieczyszczenia

• Wyjątkowa obojętność chemiczna wobec gazów procesowych stosowanych w epitaksji SiC

• Długa żywotność w przypadku powtarzających się cykli w wysokiej temperaturze

• Precyzyjnie obrobione z zachowaniem wąskich tolerancji wymiarowych, co zapewnia niezawodne dopasowanie i stabilność procesu

 2. Typowe zastosowania

Te akcesoria Solid SiC są stosowane w kluczowych obszarach funkcjonalnych reaktora Aixtron G10, w tym:

• Osłony i wybrane elementy osłon

• Pierścienie ochronne i elementy podatne na zużycie

• Precyzyjne sworznie, podkładki i drobne części konstrukcyjne

• Inne niestandardowe wkładki o wysokiej czystości narażone na intensywny przepływ gazu lub obciążenie termiczne

Obsługują stabilny rozkład temperatury, równomierne dostarczanie gazu i niską gęstość defektów podczas wzrostu epitaksjalnego SiC o dużej objętości dla tranzystorów MOSFET mocy, diod i powiązanych urządzeń o szerokiej przerwie energetycznej.

3. Dlaczego warto wybrać VeTek Solid SiC dla Aixtron G10?

Jako wyspecjalizowany producent materiałów półprzewodnikowych, VeTek Semiconductor zapewnia:

• Komponenty z litego SiC o wysokiej czystości dostosowane do systemów Aixtron G10, na przykład: pierścień pokrywy, osłony wewnętrzne/zewnętrzne, płyta ściągająca/podtrzymująca, dysk satelitarny, susceptor

• Ścisła kontrola czystości i precyzyjna obróbka CNC

• Rozwiązania uzupełniające, w tym grafit pokryty CVD SiC i części powlekane TaC, zapewniające pełne pokrycie pola cieplnego

• Projekty niestandardowe dopasowane do konkretnych warunków procesu i konfiguracji reaktora

Nasze akcesoria Solid SiC pomagają klientom zmaksymalizować zalety produktywności platformy Aixtron G10 – wysoką wydajność płytek, doskonałą grubość i jednorodność domieszkowania oraz konkurencyjne koszty posiadania – jednocześnie wydłużając żywotność komponentów i zmniejszając straty wydajności związane z cząsteczkami.