Nośnik wafla do VEECO MOCVD (epitaksja LED)

Cechy produktu:

1. Baza grafitowa o wysokiej czystości z gęstą warstwą CVD SiC
2. Dobra równomierność termiczna zapewniająca stabilną epitaksję LED
3. Jest odporny na NH₃, HCl i inne żrące gazy stosowane w procesie
4. Niskie wydzielanie cząstek i długa żywotność
5. Projekty kieszeni można dostosować do różnych rozmiarów płytek i platform reaktorów
6. Działa dobrze w przypadku długotrwałej pracy MOCVD w wysokiej temperaturze

Aplikacje:
Te nośniki płytek są szeroko stosowane w epitaksji diod LED i złożonych półprzewodników, w tym:

• Epitaksja LED GaN
• Niebiesko-zielona epitaksja LED
• Głęboki wzrost UV LED
• Epitaksja GaN na bazie Si
• Ogólna produkcja półprzewodników złożonych

Niestandardowe rozwiązania nośników pasują do wielu platform LED MOCVD, takich jak:

• VECO K465i
• VECO K700
• VECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Zalety techniczne:

1. Powłoka CVD SiCtechnologia zapewniająca dobrą gęstość i czystość
2. Zmienność grubości powłoki utrzymywana w granicach ±10 μm – pomaga utrzymać stabilność parametrów cieplnych
3. Obróbka CNC z dokładnością do 3 μm zapewniającą dobre dopasowanie płytki i stabilność obrotową
4. Powłoka dobrze przylega i jest odporna na pękanie po powtarzających się cyklach MOCVD w wysokiej temperaturze
5. Bez problemu radzi sobie z NH₃, HCl i innymi trudnymi środowiskami epitaksyjnymi
6. Niskie wytwarzanie cząstek i czysta powierzchnia zapewniają wysoką wydajnośćEpitaksja LED
7. Możliwość powlekania dużych lub niestandardowych rozmiarów dla różnych platform reaktorów i układów płytek
8. Długie doświadczenie zniestandardowe części pokryte grafitem i SiCdo epitaksji LED i złożonych półprzewodników

Często zadawane pytania:
1. Do czego służy nośnik waflowyMOCVDEpitaksja LED?

Odp.: Utrzymuje i obraca płytki wewnątrz reaktora MOCVD oraz pomaga utrzymać stałą temperaturę podczas wzrostu epitaksjalnego.

2. Dlaczego warto używać grafitowych nośników płytek z powłoką SiC do MOCVD?

O:Powłoka CVD SiCzapewnia lepszą odporność na korozję, stabilność termiczną i trwałość. Pomaga także ograniczyć zanieczyszczenie cząsteczkami podczas epitaksji wysokotemperaturowej.

3. Czy firma Vetek Semiconductor produkuje niestandardowe nośniki płytek?
O: Tak. Możemy zaprojektować niestandardowe nośniki w oparciu o platformę reaktora, rozmiar płytki, układ kieszeni i inne potrzeby procesowe.