W ten sposób powlekanie odbiornik EPI

Vetek Semiconductor jest profesjonalnym producentem w Chinach receptora Epi z powłoką SiC.

Susceptor Epi Susceptor z powłoką SiC firmy VeTek Semiconductor jest wykonany z grafitu i węglika krzemu. Ten produkt z powłoką SiC wykorzystuje importowany grafit, który ma bardziej stabilną wydajność i długą żywotność i jest bardzo chwalony przez naszych klientów w Europie i Ameryce. Jednocześnie stężenie susceptora SiC Coating Epi jest poniżej 5 ppm, a jednorodność jest bardzo dobra. Po ciągłych udoskonaleniach technologicznych firma VeTek Semiconductor wykorzystuje nowy proces, aby uzyskać dobre dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej powłoki SiC i materiałów grafitowych.

Powłoka SiC Epi Susceptor jest specjalnie stosowana w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym w sprzęcie półprzewodnikowym. Susceptor Epi z powłoką SiC jest powszechnie stosowany w urządzeniach takich jak AIXTRON, zwłaszcza w procesie epitaksji w głębokim ultrafiolecie (DUV Epitaxy), odgrywając kluczową rolę.

W procesie głębokiej epitaxy ultrafioletowej (epitaxia DUV), w połączeniu z doskonałą opornością na wysoką temperaturę i odpornością na korozję podatnika EPI powlekania SIC, podatnik EPI powlekania SIC jest zwykle instalowany wokół komory reakcyjnej w urządzeniach Aixtron jako przewoźnika uszkodzenie lub zanieczyszczenie sprzętu.

Susceptor Epi z powłoką SiC jest przeznaczony do epitaksji w głębokim ultrafiolecie. Ściśle kontrolujemy powłokę z węglika krzemu, stosujemy technologię warstwy buforowej, aby zmniejszyć problemy spowodowane różnicami we współczynnikach rozszerzalności cieplnej pomiędzy powłokami z grafitu i węglika krzemu, wydłużając w ten sposób żywotność produktu. Obecnie nasz produkt zdobył wiele wyróżnień i jest uznawany za jeden z najlepszych na rynku krajowym.

Jako lider branży produktów powlekania SIC, Vetek Semiconductor wspiera usługi dostosowywania produktów i zadowalające ceny produktów oraz oczekuje dalszych konsultacji.

DANE SEM FOLII CVD SIC:

Sklepy z produktami VeTek Semiconductor z powłoką SiC:

Przegląd łańcucha branży epitaksji chipów półprzewodnikowych: