Pierścień nośny pokryty SiC

Półprzewodnik VeTek, wiodący producent i dostawca z siedzibą w Chinach, specjalizuje się w produkcji szeregu produktów, w tymPierścienie wsparcia powlekane SIC, Powłoki z węglików krzemowych CVD, powłoki węgla do tantalu, luzem, proszki SIC i materiały SIC o wysokiej czystości. Nasze poświęcenie polega na oferowaniu kompleksowej pomocy technicznej i optymalnych rozdzielczości produktów dostosowanych do sektora półprzewodnikowego. Zapraszam do skontaktowania się z nami w celu uzyskania dalszych informacji i pomocy.

Półprzewodnik VeTek'SPierścienie wsparcia powlekane SICto nowa generacja materiałów odpornych na wysokie temperatury. Jako powłoki odporne na korozję, powłoki odporne na utlenianie i powłoki odporne na zużycie mogą być stosowane w środowiskach powyżej 1650 ℃ i są szeroko stosowane w polach półprzewodnikowych.

Wysokiej jakości cechyPierścienie wsparcia powlekane SICodgrywają bardzo ważną rolę w epitaksjalnym wzroście elementów półprzewodnikowych trzeciej generacji.

Utrzymanie równomierności temperatury: Pierścienie nośne pokryte SiC mają doskonałą przewodność cieplną i mogą zapewnić równomierny rozkład temperatury podczas wzrostu epitaksjalnego. Pomaga to zmniejszyć gradienty termiczne i naprężenia na powierzchni płytki, poprawiając w ten sposób jakość warstwy epitaksjalnej.

Ekstremalna stabilność chemiczna: Podczas procesu wzrostu epitaksjalnego,Pierścienie wsparcia powlekane SICsą w stanie oprzeć się atakowi chemicznemu gazów reakcyjnych, przedłużając żywotność pierścieni nośnych i utrzymując integralność procesu. Ta stabilność chemiczna pomaga zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia oraz poprawić czystość i wydajność urządzeń półprzewodnikowych.

Precyzyjne pozycjonowanie: Pierścienie wsporcze powlekane SIC są w stanie utrzymać precyzyjne pozycjonowanie wafla, co ma kluczowe znaczenie dla osiągnięcia jednolitego osadzania warstwy. To precyzyjne pozycjonowanie pomaga zapewnić spójność grubości i jakości warstwy epitaksjalnej.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC:

Dealer półprzewodnikowy:

Przegląd sieci przemysłu Epitaksy Chip Chip: