Produkty
Łódź kwarcowa o wysokiej czystości
  • Łódź kwarcowa o wysokiej czystościŁódź kwarcowa o wysokiej czystości

Łódź kwarcowa o wysokiej czystości

Nasze łodzie kwarcowe o wysokiej czystości są wykonane z stopionego kwarcu (zawartość SIO₂ ≥ 99,99%). Dzięki doskonałej odporności na ekstremalne środowiska, niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej i długim cyklu życia stał się niezastąpionym kluczem do zużycia w półprzewodnikach i nowych branżach energetycznych.


Łodzie kwarcowe o wysokiej czystości są precyzyjnymi nośnikami wykonanymi z materiałów kwarcowych o ultra wysokiej czystości (zawartość SiO₂ ≥ 99,99%), zaprojektowana do wysokiej temperatury i wysokiej czyszczenia procesów. To urządzenie jest niezbędne do takich procesów, jak wyżarzanie, dyfuzja, utlenianie i chemiczne odkładanie pary (CVD) i jest szeroko stosowane w półprzewodnikach, fotowoltaikach i innych dziedzinach. Jego podstawowa zaleta polega na fizycznej i chemicznej stabilności samego materiału.


Ⅰ. Doskonałe fizyczne właściwości łodzi kwarcowych VeteSemicon o wysokiej czystości


Charakterystyka
Specyficzne parametry/wydajność
Czystość
Zawartość SiO₂ ≥99,99% (klasa 4N), zanieczyszczenia metalu (takie jak Na, K, Fe) ≤10 ppm, aby uniknąć zanieczyszczenia wrażliwych środowisk procesowych.
Odporność na wysoką temperaturę

Punkt zmiękczenia: ≥1660 ° C (krótkoterminowa tolerancja 1700 ° C); 

Temperatura ciągłego użytkowania:1200 ° C (stabilność długoterminowa bez deformacji)

Współczynnik rozszerzalności cieplnej
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), blisko rozszerzenia zerowej, doskonała odporność na wstrząsy termiczne.
Stabilność chemiczna
Odporne na silne kwasy (z wyjątkiem HF), silne alkalis (w temperaturze pokojowej) i odporne na gazy korozyjne, takie jak H₂ i Cl₂ w wysokich temperaturach.
Właściwości optyczne
Przekazanie UV-IR ≥90% (200 ~ 2500 nm), odpowiednie dla przezroczystego wymagania dotyczące nośności w procesach litograficznych i laserowych.
Siła mechaniczna

Wytrzymałość na ściskanie: ≥1200 MPa

Twardość powierzchni (MOHS): 7 (wyższa niż zwykłe szkło)

Wykończenie powierzchni
RA ≤ 0,2 μm, zmniejszając zanieczyszczenie cząstek i poprawa wydajności opłatek.


Ⅱ. Główne zastosowania i odpowiednie zalety produktu


1. Produkcja półprzewodników:


Konkretne zastosowania: Narzędzia nośne w procesach dyfuzji, utleniania, wyżarzania i CVD (chemiczne osadzanie parowe).


Zalety produktu:

Bardzo niskie zanieczyszczenie: 99,99% czystych łodzi opłatek Vetesemicon unikają zanieczyszczenia jonów metali i zapewniają wydajność elektryczną chipów.

Precyzyjny rozmiar: Płaskość łodzi waflowej kwarcowej wynosi ± 0,05 mm, zapewniając jednolite ogrzewanie opłat (np. 12-calowa łódź opłat).

Długie życie: Zgodnie z faktycznymi zarejestrowanymi danymi produkcyjnymi, kwarcowymi łodziami waflami, które wytwarzane, które wytwarzane, mogą być używane w sposób ciągły przez ponad 1000 godzin w 1200 ° C, znacznie zmniejszając częstotliwość zamienną (w porównaniu ze zwykłymi łodziami kwarcowymi, żywotność jest zwiększana o 3 razy).


2. Przemysł fotowoltaiczny


Konkretne zastosowania: W dziedzinie produkcji przemysłu fotowoltaicznego łodzie kwarcowe o dużej czystości są zwykle stosowane do płytek krzemowych w dyfuzji fosforu komórek PERC i procesu dyfuzji boru komórek TopCon.


Zalety wydajności:

Projekt wysokiego obciążenia: Pojedyncza łódź, którą produkujemy, może przenosić 200 ~ 300 waflów krzemowych (grubość 160 ~ 180 μm), znacznie poprawiając zdolność produkcyjną opłat na jednostkę czasu.

Szybki wzrost temperatury i upadek: Ultra-niski współczynnik rozszerzania cieplnego (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), blisko ekspansji zerowej) obsługuje 10% ~ 15% zmniejszenie cyklu procesu.

Efekt przeciwbólowy: Brak opadów jonowych sodu podczas procesu ładowania wafla krzemowego zmniejsza ryzyko degradacji indukowanej foto.


Ⅲ. Specyfikacje opakowań łodzi kwarcowych


Łodzie kwarcowe VeteSemicon będą korzystać z gęstego opakowania wielowarstwowego, aby zapewnić integralność produktu podczas przechowywania i transportu.


Jednocześnie VeteSemincon obsługuje dostosowany rozszerzony projekt procesu, taki jak niestandardowy rozmiar (błąd ± 0,1 mm), wielowarstwowe konstrukcja stosu (do 5 warstw) i powłoki folii o wysokiej temperaturze (taka jak powlekanie SIC). Witamy w dalszych konsultacjach.


Gorące Tagi: Łódź kwarcowa o wysokiej czystości
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept