EPI zwolennik

VETEK Semiconductor jest profesjonalnym liderem, który podjęto China EPI, producent wsparcia grafitowego Planetary Tuger i TAC. I Nasze wsparcie EPI jest ważnym elementemWzrost epitaksjalnyW procesie produkcji półprzewodników. Jego główną funkcją jest wsparcie i podgrzewanie opłatek, aby wysokiej jakości warstwa epitaksjalna mogła być równomiernie uprawiana na powierzchni opłat.

EPI podatniki EETEK Semiconductors są zwykle wykonane z grafitu o wysokiej czystości i pokryte warstwą węgliku krzemu (SIC).Ten projekt ma następujące kluczowe zalety:

● Stabilność w wysokiej temperaturze: Podatnik EPI może pozostać stabilny w środowisku o wysokiej temperaturze, zapewniając jednolity wzrost warstwy epitaksjalnej.

● Odporność na korozję: Powłoka SIC ma doskonałą odporność na korozję i może oprzeć się erozji gazów chemicznych, przedłużając żywotność tacki.

● Przewodnictwo cieplne: Wysoka przewodność cieplna materiału SIC zapewnia jednolity rozkład temperatury wafla podczas ogrzewania, poprawiając w ten sposób jakość warstwy epitaksjalnej.

● Dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej: Współczynnik rozszerzania cieplnego SIC jest podobny do grafitu, unikając problemu zrzucania powlekania z powodu rozszerzalności cieplnej i skurczu.

Podstawowe właściwości fizyczneCVD SIC COATING:

Sklep produkcyjny CVD SIC:

Przegląd sieci przemysłu Epitaksy Chip Chip: