Ceramiczny uchwyt elektrostatyczny z azotku glinu (AlN).

1.Zalety

• Ceramika AlN o wysokiej czystości o przewodności cieplnej do ~180 W/m·K zapewniająca efektywne przenoszenie ciepła i równomierność temperatury

• Silna izolacja elektryczna i wysoka rezystywność objętościowa zapewniają stabilne zaciskanie przy 1–3 kV (dostępne są wyższe napięcia)

• Niestandardowe materiały warstw dielektrycznych i układy elektrod: Coulomb lub Johnsen – Rahbek (JR); jedno lub wielostrefowe

• Szybkie zaciskanie i zwalnianie, zwykle poniżej 0,1 sekundy

• Mikrostruktury wgłębień powierzchniowych o średnicy do ~300 μm, redukujące powierzchnię styku do zaledwie ~1%

• Wysoka płaskość; typowa globalna płaskość rzędu 0,5–3 μm PV dla platform klasy 300 mm

• Gęsta mikrostruktura o niemal zerowej absorpcji wody i dobrej odporności chemicznej w środowiskach procesowych

2.Typowe zastosowania

Ceramiczne uchwyty elektrostatyczne z azotku aluminium są stosowane na etapach procesu, które wymagają zarówno bezpiecznego trzymania płytek, jak i kontrolowanego zachowania termicznego:

• Trawienie plazmą suchą (ICP/RIE) i powiązane procesy komorowe

• CVD, PEALD, termiczny ALD i inne etapy osadzania cienkowarstwowego

• Moduły do ​​wyżarzania i procesów termicznych wymagające jednolitej temperatury płytek

• Etapy kontroli, metrologii i precyzji, w których krytyczna jest niska zawartość cząstek i stabilne mocowanie

3.Gatunki materiałów AlN – typowe właściwości

VeTek oferuje wiele gatunków azotku glinu, aby zrównoważyć przewodność cieplną, wytrzymałość mechaniczną i koszt w projektach ESC:

Jednostki: Przewodność cieplna w W/(m·K); wytrzymałość dielektryczna w kV/mm; rezystywność skrośna w Ω·cm (25 °C); stała dielektryczna przy 1 MHz. Wartości są typowe i mogą się różnić w zależności od procesu i geometrii części.

4.Typowe parametry projektowe ESC

5.Dlaczego Choczy widzisz uchwyty elektrostatyczne VeTek AlN?

VeTek Semiconductor łączy zaawansowaną ceramikę AlN z precyzyjną produkcją ESC dla klientów półprzewodników, którzy potrzebują zarówno wydajności termicznej, jak i niezawodnego mocowania:

• Wiele gatunków AlN o przewodności cieplnej od ~90 do ~180 W/m·K w celu dopasowania do budżetów cieplnych procesu

• Elastyczna konstrukcja elektrody i dielektryka dla zachowania zaciskania Coulomba lub JR

• Ścisła kontrola płaskości, mikrostruktury powierzchni i wydajności izolacji elektrycznej

• Pełne wsparcie cyklu życia: projektowanie, nowa budowa i wielopoziomowa renowacja

Ceramiczne uchwyty elektrostatyczne z azotku aluminium VeTek do wytrawiania, osadzania i narzędzi termicznych, które zależą od jednolitej temperatury płytki i czystego, powtarzalnego mocowania, zapewniają wysokowydajną platformę ceramiczną popartą wsparciem inżynieryjnym dostosowanym do konkretnego zastosowania.