SIC Coating Collector Center

Centrum kolekcjonerskie powlekania SIC VEETK odgrywa ważną rolę w produkcji półprzewodnikowej procesu EPI. Jest to jeden z kluczowych elementów stosowanych do rozkładu gazu i kontroli w komorze reakcyjnej epitaksjalnej.Powłoka sicIPowłoka TACW naszej fabryce.

Rola Centrum Kolekcjonera powlekania SIC jest następująca:

● Rozkład gazu: Centrum kolektora powlekania SIC służy do wprowadzenia różnych gazów do komory reakcji epitaksjalnej. Ma wiele wlotów i gniazd, które mogą rozdzielić różne gazy w pożądane lokalizacje, aby zaspokoić określone potrzeby wzrostu epitaksjalnego.

● Kontrola gazu: Centrum kolektora powlekania SIC osiąga precyzyjną kontrolę każdego gazu przez zawory i urządzenia sterujące przepływem. Ta precyzyjna kontrola gazu jest niezbędna do powodzenia procesu wzrostu epitaxialnego w celu osiągnięcia pożądanego stężenia gazu i szybkości przepływu, zapewniając jakość i spójność filmu.

● Jednolitość: Projekt i układ centralnego pierścienia gromadzenia gazu pomaga osiągnąć jednolity rozkład gazu. Dzięki rozsądnej ścieżce przepływu gazu i tryb dystrybucji gaz jest równomiernie mieszany w komorze reakcyjnej epitaksjalnej, aby osiągnąć jednolity wzrost folii.

W produkcji produktów epitaksjalnych Centrum Collector Collection SIC odgrywa kluczową rolę w jakości, grubości i jednolitości filmu. Poprzez prawidłowy rozkład i kontrola gazu, centrum kolektora powlekania SIC może zapewnić stabilność i spójnośćProces wzrostu epitaksjalnego, aby uzyskać wysokiej jakości filmy epitaksjalne.

W porównaniu z grafitowym centrum kolektora, Centrum kolektora powlekanego SIC jest lepsze przewodność cieplną, zwiększoną bezwładność chemiczną i doskonałą odporność na korozję. Powłoka z węglika krzemu znacznie zwiększa zdolność zarządzania termicznego materiału grafitowego, co prowadzi do lepszej jednolitości temperatury i spójnego wzrostu folii w procesach epitaksjalnych. Ponadto powłoka zapewnia warstwę ochronną, która opiera się korozji chemicznej, przedłużając żywotność składników grafitu. OgólniePokażony węglikiem krzemowymMateriał grafitowy oferuje doskonałą przewodność cieplną, bezwładność chemiczną i odporność na korozję, zapewniając zwiększoną stabilność i wysokiej jakości wzrost folii w procesach epitaksjalnych.

Struktura krystaliczna filmu CVD:

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC

To półprzewodnikSIC Coating Collector CenterSklep produkcyjny