Susceptor MOCVD SiC

Parametry techniczne

STRUKTURA KRYSTALICZNA FILMU CVD SIC

Definicja produktu i skład

Susceptor pokryty SiC VETEK MOCVD to najwyższej jakości element przenoszący płytki, zaprojektowany specjalnie do epitaksjalnego przetwarzania półprzewodników trzeciej generacji, takich jak GaN i SiC. Produkt ten łączy w sobie doskonałe właściwości fizyczne dwóch materiałów o wysokiej wydajności:

Podłoże grafitowe o wysokiej czystości: Wyprodukowano przy użyciu technologii prasowania izostatycznego, aby zapewnić materiałowi podstawowemu wyjątkową integralność strukturalną, wysoką gęstość i stabilność podczas obróbki cieplnej.

Powłoka CVD SiC: Gęsta, pozbawiona naprężeń warstwa ochronna z węglika krzemu (SiC) narasta na powierzchni grafitu dzięki zaawansowanej technologii chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).

Dlaczego VETEK jest gwarancją Twojego zysku

Najwyższa precyzja w kontroli jednorodności termicznej: W przeciwieństwie do konwencjonalnych nośników, susceptory VETEK zapewniają wysoce zsynchronizowany transfer ciepła na całej powierzchni dzięki precyzyjnej kontroli grubości powłoki i oporu cieplnego w skali nanometrowej. To wyrafinowane zarządzanie temperaturą skutecznie minimalizuje odchylenie standardowe długości fali (STD) na powierzchni płytki, znacznie poprawiając zarówno jakość pojedynczych płytek, jak i ogólną spójność partii.

Długoterminowa ochrona przy zerowym zanieczyszczeniu cząsteczkami: W komorach reakcyjnych MOCVD zawierających silnie korozyjne gazy zwykłe cokoły grafitowe są podatne na łuszczenie się cząstek. Powłoka CVD SiC firmy VETEK charakteryzuje się wyjątkową obojętnością chemiczną, działając jak nieprzenikniona tarcza uszczelniająca mikropory grafitu. Zapewnia to całkowitą izolację zanieczyszczeń podłoża, zapobiegając zanieczyszczeniu warstw epitaksjalnych GaN lub SiC.

Wyjątkowa odporność na zmęczenie i żywotność:Dzięki opatentowanemu procesowi obróbki powierzchni styku firmy VETEK, nasza powłoka SiC osiąga zoptymalizowane dopasowanie rozszerzalności cieplnej do podłoża grafitowego. Nawet w przypadku cykli termicznych o wysokiej częstotliwości w ekstremalnych temperaturach powłoka utrzymuje doskonałą przyczepność bez łuszczenia się i powstawania mikropęknięć. To znacznie zmniejsza częstotliwość konserwacji części zamiennych i obniża całkowity koszt posiadania.

Nasz warsztat