MOCVD Wafla epitaksjalna

MOCVD Epitaksial Wafer jest wysokowydajny podatnik na epitaksjalny wafel zaprojektowany do sprzętu MOCVD (metal-organiczne chemiczne osadzanie pary). Podatnik jest wykonany z materiału grafitu SGL i powleczony powłoką węgla krzemu, który łączy wysoką przewodność cieplną grafitu z doskonałą wysoką temperaturą i odpornością na korozję SIC i jest odpowiednia dla trudnego środowiska roboczego wysokiej temperatury, wysokiego ciśnienia i gazu korozyjnego podczas epitaksyjnego wzrostu półprzewodników.

Materiał grafitu SGL ma doskonałą przewodność cieplną, która zapewnia, że ​​temperatura wafla epitaksjalnego jest równomiernie rozmieszczona podczas procesu wzrostu i poprawia jakość warstwy epitaksjalnej. Powlekana powłoka SIC umożliwia podatnikowi wytrzymanie wysokich temperatur ponad 1600 ℃ i dostosowanie się do ekstremalnego środowiska termicznego w procesie MOCVD. Ponadto powłoka SIC może skutecznie opierać się w wysokiej temperaturze gazach reakcyjnych i korozji chemicznej, przedłużyć żywotność podatnika i zmniejszyć zanieczyszczenie.

Epitaksjalne podatność na wafel Vetesemi może być używane jako zamiennik akcesoriów dostawców sprzętu MOCVD, takich jak Aixtron.

● Rozmiar: Można dostosować zgodnie z potrzebami klientów (dostępny standardowy rozmiar).

● Pojemność przenoszenia: Może nosić jedno lub nawet więcej niż 50 wafli epitaksjalnych jednocześnie (w zależności od wielkości podatnika).

● Obróbka powierzchniowa: Powłoka SIC, odporność na korozję, odporność na utlenianie.

● Przemysł półprzewodnikowy: Używany do wzrostu wafli epitaksjalnych, takich jak diody LED, diody laserowe i półprzewodniki mocy.

● Przemysł optoelektroniczny: Wspiera wzrost epitaksjalny wysokiej jakości urządzeń optoelektronicznych.

● Wysokiej klasy badania i rozwój materialny: Zastosowany do epitaksjalnego przygotowania nowych półprzewodników i materiałów optoelektronicznych.

W zależności od rodzaju sprzętu MOCVD klienta i potrzeb produkcyjnych Vetek Semiconductor zapewnia niestandardowe usługi, w tym wielkość podatnika, materiał, obróbkę powierzchni itp., Aby zapewnić klientom najbardziej odpowiednie rozwiązanie.

Struktura krystaliczna filmu CVD SIC

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC

To półprzewodnik MOCVD Epitaksialne sklepy podatkowe