Pierścień z powłoką CVD SiC

Istnieje wiele małych części w części półksiężycowych, a pierścień powłokowy SIC jest jednym z nich.Powłoka CVD SiCNa powierzchni pierścienia grafitowego o wysokiej czystości metodą CVD możemy uzyskać pierścień powlekania CVD SIC. Pierścień powlekania SIC z powłoką SIC mają doskonałe właściwości, takie jak oporność w wysokiej temperaturze, doskonałe właściwości mechaniczne, stabilność chemiczna, dobra przewodność cieplna, dobra izolacja elektryczna i doskonała odporność na utlenianie. Pierścień powlekania SIC i powlekanie SIC i powlekanie SICwłaściciel zakładu pogrzebowegoPracuj razem.

Pierścień powlekania SIC i współpracawłaściciel zakładu pogrzebowego

Funkcje pierścienia z powłoką CVD SiC:

  ●   Dystrybucja przepływu: Geometryczna konstrukcja pierścienia powłoki SIC pomaga utworzyć jednolite pole przepływu gazu, dzięki czemu gaz reakcyjny może równomiernie pokryć powierzchnię podłoża, zapewniając jednolity wzrost epitaksjalny.

  ●  Wymiana ciepła i równomierność temperatury: Pierścień powłoki CVD SiC zapewnia dobrą wydajność wymiany ciepła, utrzymując w ten sposób jednolitą temperaturę pierścienia powłoki CVD SiC i podłoża. Pozwala to uniknąć defektów kryształów spowodowanych wahaniami temperatury.

  ●  Blokowanie interfejsu: Pierścień powlekania CVD SIC może w pewnym stopniu ograniczyć dyfuzję reagentów, tak że reagują one w określonym obszarze, promując w ten sposób wzrost wysokiej jakości kryształów SIC.

  ●  Funkcja wsparcia: Pierścień powlekania CVD SIC jest łączony z poniższym dysku, aby utworzyć stabilną strukturę, aby zapobiec deformacji w środowisku wysokiej temperatury i reakcji oraz utrzymywać ogólną stabilność komory reakcyjnej.

Firma VeTek Semiconductor zawsze stara się dostarczać klientom wysokiej jakości pierścienie z powłoką CVD SiC i pomagać klientom w opracowywaniu rozwiązań po najbardziej konkurencyjnych cenach. Bez względu na to, jakiego rodzaju pierścienia z powłoką CVD SiC potrzebujesz, skontaktuj się z firmą VeTek Semiconductor!

Dane SEM struktury krystalicznej folii CVD ：

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SiC: