Aktualności

Kryształowe piece z węglikami krzemu (SIC) odgrywają istotną rolę w wytwarzaniu wysokowydajnych płytek SIC dla urządzeń półprzewodnikowych nowej generacji. Jednak proces uprawy wysokiej jakości kryształów SIC stanowi poważne wyzwania. Od zarządzania ekstremalnymi gradientami termicznymi po zmniejszenie wad kryształowych, zapewniające jednolity wzrost i kontrolowanie kosztów produkcji, każdy krok wymaga zaawansowanych rozwiązań inżynierskich. W tym artykule przeanalizuje techniczne wyzwania pieców wzrostu SIC z wielu perspektyw.

Smart Cut to zaawansowany proces produkcji półprzewodników oparty na implantacji jonowej i usuwaniu opłat, zaprojektowany specjalnie do produkcji ultraciennych i bardzo jednolitych płytek 3C-SIC (krzemowy krzem). Może przenosić ultratynowe materiały krystaliczne z jednego podłoża do drugiego, w ten sposób zrywając pierwotne ograniczenia fizyczne i zmieniając cały przemysł podłoża.

W przygotowaniu wysokiej jakości i wysokowydajnych substratów węglika krzemu, rdzeń wymaga precyzyjnej kontroli temperatury produkcji przez dobre materiały pola termiczne. Obecnie stosowane głównie zestawy tygla termicznego są głównie grafitowymi składnikami strukturalnymi o wysokiej czystości, których funkcjami są podgrzewanie stopionego proszku węgla i proszku krzemu, a także utrzymanie ciepła.

Kiedy zobaczysz półprzewodniki trzeciej generacji, z pewnością zastanawiasz się, jakie były pierwsze i drugie pokolenie. „Generowanie” jest tutaj klasyfikowane na podstawie materiałów stosowanych w produkcji półprzewodnikowej.

Elektrostatyczne Chuck (ESC), znane również jako elektrostatyczne Chuck (ESC, E-Chuck), jest elementem wykorzystującym zasadę adsorpcji elektrostatycznej do trzymania i ustalania zaadsorbowanego materiału. Jest odpowiedni do środowisk próżniowych i plazmowych.

Przewoźnicy SIC, jako kluczowe materiały eksploatacyjne w łańcuchu półprzewodników trzeciej generacji, ich cechy techniczne bezpośrednio wpływają na wydajność wzrostu epitaxialnego i produkcji urządzeń. Wraz z rosnącym zapotrzebowaniem na urządzenia o wysokim napięciu i wysokiej temperaturze w branżach takich jak stacje bazowe 5G i nowe pojazdy energetyczne, badania i zastosowanie przewoźników opłat SIC są obecnie w obliczu znacznych możliwości rozwoju.