Wiadomości branżowe

Z perspektywy zastosowania SIC pojedynczego wzrostu kryształu, w tym artykule porównano podstawowe parametry fizyczne powłoki TAC i powłoki SIC oraz wyjaśnia podstawowe zalety powłoki TAC nad powłoką SIC pod względem oporności o wysokiej temperaturze, silnej stabilności chemicznej, zmniejszonej zanieczyszczenia i niższe koszty.

Istnieje wiele rodzajów urządzeń pomiarowych w fabryce Fab. Wspólny sprzęt obejmuje wyposażenie pomiaru procesu litograficznego, sprzęt pomiarowy procesu trawienia, sprzęt pomiarowy procesu osadzania cienkiego, sprzęt pomiarowy procesu domieszkowania, sprzęt pomiarowy procesu CMP, sprzęt do wykrywania cząstek waflu i inne urządzenia pomiarowe.

Powłoka z węglikiem tantalu (TAC) może znacznie przedłużyć żywotność części grafitowych poprzez poprawę oporności w wysokiej temperaturze, odporności na korozję, właściwości mechaniczne i możliwości zarządzania termicznego. Jego wysokie cechy czystości zmniejszają zanieczyszczenie zanieczyszczenia, poprawia jakość wzrostu kryształów i zwiększają efektywność energetyczną. Jest odpowiedni do produkcji półprzewodników i zastosowań wzrostu kryształów w wysokiej temperaturze, wysoce żrących środowiskach.

Powłoki węgla tantalu (TAC) są szeroko stosowane w polu półprzewodnikowym, głównie do składników reaktora wzrostu epitaksjalnego, kluczowe elementy wzrostu pojedynczego kryształu, komponenty przemysłowe i krystaliczne, podgrzewacze systemu MOCVD i stabilności.

Podczas procesu wzrostu epitaxialnego SIC może wystąpić awaria zawiesiny grafitowej powlekanej SIC. Niniejszy artykuł przeprowadza rygorystyczną analizę zjawiska uszkodzenia zawiesiny grafitowej powlekanej SiC, która zawiera głównie dwa czynniki: niewydolność gazu epitaksjalnego i niewydolność powlekania SIC.

W artykule omówiono głównie odpowiednie zalety procesu i różnice w procesie epitaksji z wiązek molekularnych i technologiach chemicznego osadzania z fazy gazowej metaloorganicznej.