Wiadomości branżowe

Dogłębna analiza przyczyn żółknięcia krawędzi i łuszczenia się powłoki z węglika krzemu na susceptorach z grafitu epitaksjalnego MOCVD. VeTek wyeliminował mikronaprężenia, precyzyjnie kontrolując początkową szybkość osadzania CVD i pole przepływu, zwiększając wydajność powłoki z 50% do 90% i wydłużając żywotność części grafitowych o wysokiej czystości.

Rozwiązanie problemu różnic w grubości od kieszeni do kieszeni wynoszących 1,4% w wielokieszeniowych susceptorach z epitaksją krzemowo-grafitową, VeTek Semi poprawił płaskość susceptora do <0,08 mm i zmniejszył zmienność do 0,69% dzięki symulacji pola przepływu CVD i ultraprecyzyjnej powłoce SiC, zwiększając wydajność płytek.

Dowiedz się, jak Vetek wyeliminował pęknięcia promieniowe w wielkogabarytowych susceptorach grafitowych pokrytych MOCVD SiC. Przeprojektowanie bufora naprężeń strukturalnych i dopasowanie CTE zwiększyło żywotność o ponad 300%.