Wiadomości branżowe

Produkty kwarcowe są szeroko stosowane w procesie produkcji półprzewodników ze względu na ich wysoką czystość, oporność w wysokiej temperaturze i silną stabilność chemiczną.

Kryształowe piece z węglikami krzemu (SIC) odgrywają istotną rolę w wytwarzaniu wysokowydajnych płytek SIC dla urządzeń półprzewodnikowych nowej generacji. Jednak proces uprawy wysokiej jakości kryształów SIC stanowi poważne wyzwania. Od zarządzania ekstremalnymi gradientami termicznymi po zmniejszenie wad kryształowych, zapewniające jednolity wzrost i kontrolowanie kosztów produkcji, każdy krok wymaga zaawansowanych rozwiązań inżynierskich. W tym artykule przeanalizuje techniczne wyzwania pieców wzrostu SIC z wielu perspektyw.

Smart Cut to zaawansowany proces produkcji półprzewodników oparty na implantacji jonowej i usuwaniu opłat, zaprojektowany specjalnie do produkcji ultraciennych i bardzo jednolitych płytek 3C-SIC (krzemowy krzem). Może przenosić ultratynowe materiały krystaliczne z jednego podłoża do drugiego, w ten sposób zrywając pierwotne ograniczenia fizyczne i zmieniając cały przemysł podłoża.