8-calowy górny pierścień epitaksyjny pokryty CVD węglikiem krzemu (SiC).

Najważniejsze cechy 8-calowego górnego pierścienia SiC Epi

● Wysoka czystość: minimum 99,9995%. Metal nie będzie migrował do epi-warstwy. Dzięki temu stężenie nośnika płytek jest tam, gdzie jest potrzebne.

● Tłumienie cząstek: Struktura CVD jest gęsta. Brak porów. Nie wydziela cząstek podczas pracy narzędzia. W ten sposób fabryki uzyskują lepsze plony.

● Odporność na ciepło: Pierścień pozostaje stabilny w temperaturze 1500°C. Niski współczynnik CTE (rozszerzalność cieplna) oznacza brak odkształceń podczas szybkich cykli nagrzewania/chłodzenia.

● Stabilność chemiczna: Stały CVD SiC jest odporny na gazy H2 i HCl. Jest również odporny na NH3. Nie posiada powłoki, którą można by odkleić. Nie ulega degradacji w trudnych warunkach CVD.

● Trwałość podzespołów: Powierzchnia jest wyjątkowo twarda. Wytrzymuje wielokrotne czyszczenie chemiczne HF/HCl. Zmniejsza to częstotliwość wymiany. Obniża także całkowity koszt posiadania fabryki.

Dane techniczne

Jednorodność grubości powłoki pomiędzy partiami jest kontrolowana przy 10 µm

Aplikacje

Pierścień górny epi CVD SiC jest szeroko stosowany w:

● Reaktory epitaksji krzemowej (Si Epi).

● Epitaksja z węglika krzemu (SiC Epi)

● Systemy MOCVD

● Sprzęt do osadzania CVD

Często w połączeniu z:

● Susceptory

● Nośniki wafli

● Rozgrzej pierścienie

● Reaktory epitaksyjne

Dlaczego warto założyć górny pierścień VETEK SiC Epi?

● Pełna zdolność produkcyjna: 

Od oczyszczania surowców po precyzyjną obróbkę i powlekanie CVD, VETEK kontroluje cały proces produkcyjny, aby zapewnić stałą jakość półprzewodników.

● Wysoka dokładność: 

Stosujemy obróbkę na poziomie mikrona. Grubość CVD jest bardzo jednolita. Dzięki temu każdy pierścień działa dokładnie w ten sam sposób.

Często zadawane pytania

(1) Do czego służy górny pierścień SiC epi?

Pierścień zarządza przepływem ciepła i gazu. Zapewnia równomierny wzrost cienkiej warstwy na waflu.

(2) Dlaczego CVD SiC jest lepszy od grafitu?

Grafit jest porowaty. Grafit ma pory i wydziela gaz. Stały CVD SiC jest gęsty i czysty. Wytrzymuje znacznie dłużej w narzędziach korozyjnych.

(3). Czy 8-calowy górny pierścień SiC można dostosować?

Tak. Budujemy według konkretnych rysunków narzędzi. Możemy dostosować geometrię w oparciu o Twój proces.

(4). W jakich branżach stosuje się pierścienie epitaksyjne SiC?

Stosowane są głównie w produkcji półprzewodników, w tym w urządzeniach zasilających, urządzeniach RF i produkcji płytek SiC.