Aktualności

W tym artykule opisano głównie szerokie perspektywy zastosowania ceramiki węglika krzemu. Koncentruje się również na analizie przyczyn spiekania pęknięć w ceramice węgla krzemu i odpowiednich roztworach.

Technologia trawienia w produkcji półprzewodników często napotyka problemy, takie jak efekt ładowania, efekt mikro-rod i efekt ładowania, które wpływają na jakość produktu. Roztwory ulepszeń obejmują optymalizację gęstości w osoczu, dostosowanie składu gazu reakcji, poprawę wydajności układu próżniowego, projektowanie rozsądnego układu litografii oraz wybór odpowiednich materiałów maski trawienia i warunków procesowych.