Aktualności

Wiadomości branżowe

Co sprawia, że ​​susceptor grafitowy pokryty SiC do ASM jest niezbędny do uzyskania stabilnych wyników epitaksji?11 2026-05

Co sprawia, że ​​susceptor grafitowy pokryty SiC do ASM jest niezbędny do uzyskania stabilnych wyników epitaksji?

Susceptor grafitowy pokryty SiC dla ASM to nie tylko część zamienna wewnątrz systemu epitaksji. Jest to nośnik krytyczny dla procesu, który wpływa na równomierność termiczną, czystość płytek, trwałość powłoki, stabilność komory i długoterminowe koszty produkcji.
Co sprawia, że ​​powłoka CVD TaC jest niezawodna w obróbce półprzewodników w wysokiej temperaturze?06 2026-05

Co sprawia, że ​​powłoka CVD TaC jest niezawodna w obróbce półprzewodników w wysokiej temperaturze?

Powłoka CVD TaC to nie tylko pokrywa ochronna lub element powlekany grafitem. W wysokotemperaturowych procesach półprzewodników może wpływać na czystość komory, stabilność termiczną, żywotność części i spójność procesu.
Dlaczego łódź grafitowa dla PECVD ma tak duże znaczenie dla jakości filmu i stabilności produkcji?22 2026-04

Dlaczego łódź grafitowa dla PECVD ma tak duże znaczenie dla jakości filmu i stabilności produkcji?

W produkcji PECVD wiele problemów związanych z powlekaniem i osadzaniem nie zaczyna się od mocy plazmy lub chemii gazu. Zaczynają od nośnika, w którym znajdują się wafle.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie.Polityka prywatności
OdrzucićPrzyjąć